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如何制备TEM样品?
已浏览:次 作者: 来源: 发布时间:2010年03月17日 22:26:27[字体大小: ]

A  粉末样品的制备

(1)选择高质量的微栅网(直径3mm),这是关系到能否拍摄出高质量高分辨电镜照片的第一步;

(2)用镊子小心取出微栅网,将膜面朝上(在灯光下观察显示有光泽的面,即膜面),轻轻平放在白色滤纸上;

(3)取适量的粉末和乙醇分别加入小烧杯,进行超声振荡10~30min,过3~5 min后,用玻璃毛细管吸取粉末和乙醇的均匀混合液,然后滴2~3滴该混合液体到微栅网上(如粉末是黑色,则当微栅网周围的白色滤纸表面变得微黑,此时便适中。滴得太多,则粉末分散不开,不利于观察,同时粉末掉入电镜的几率大增,严重影响电镜的使用寿命;滴得太少,则对电镜观察不利,难以找到实验所要求粉末颗粒。建议由老师制备或在老师指导下制备。)

(4)等15 min以上,以便乙醇尽量挥发完毕;否则将样品装上样品台插入电镜,将影响电镜的真空。

B  块状样品制备

1)电解减薄方法

   用于金属和合金试样的制备。

(1)块状样切成约0.3mm厚的均匀薄片;

(2)用金刚砂纸机械研磨到约120~150μm厚;

(3)抛光研磨到约100μm左右;

(4)冲成Ф3mm的圆片;

(5)选择合适的电解液和双喷电解仪的工作条件,将Ф3mm的圆片中心减薄出小孔;

(6)迅速取出减薄试样放入无水乙醇中漂洗干净(减少氧化)。

注意事项:

(1)电解减薄所用的电解液有很强的腐蚀性,需要注意人员安全,及对设备的清洗;

(2)电解减薄完的试样需要轻取、轻拿、轻放和轻装,否则容易破碎,导致前功尽弃;

2)离子减薄方法    

用于陶瓷、半导体、以及多层膜截面等材料试样的制备。

(1)块状样切成约0.3mm厚的均匀薄片;

(2)均匀薄片用石蜡粘贴于超声波切割机样品座上的载玻片上;

(3)用超声波切割机冲成Ф3mm的圆片;

(4)用金刚砂纸机械研磨到约100μm厚;

(5)用磨坑仪在圆片中央部位磨成一个凹坑,凹坑深度约50~70μm,凹坑目的主要是为了减少后序离子减薄过程时间,以提高最终减薄效率;

(6)将洁净的、已凹坑的Ф3mm圆片小心放入离子减薄仪中,根据试样材料的特性,选择合适的离子减薄参数进行减薄;

注意事项:

(1)凹坑过程试样需要精确的对中,先粗磨后细磨抛光,磨轮负载要适中,否则试样易破碎;

(2)凹坑完毕后,对凹坑仪的磨轮和转轴要清洗干净;

(3)凹坑完毕的试样需放在丙酮中浸泡、清洗和凉干;

(4)进行离子减薄的试样在装上样品台和从样品台取下这二过程,需要非常的小心和细致的动作,因为此时Ф3mm薄片试样的中心已非常薄,用力不均或过大,很容易导致试样破碎。

(5)需要很好的耐心,欲速则不达。

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